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Norm-Entwurf

24/30486622 DC
BS EN IEC 62047-49. Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 49. Reliability test methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

Titel (englisch)

BS EN IEC 62047-49. Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 49. Reliability test methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

Ausgabe 2024-01-26

Originalsprache Englisch

Preis ab 25,70 €

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