Norm
[AKTUELL]
SN EN 62374-1
SN EN 62374-1
Halbleiterbauelemente - Teil 1: Prüfung auf zeitabhängigen dielektrischen Durchbruch (TDDB) bei Isolationsschichten zwischen metallischen Leiterbahnen
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers