Norm [AKTUELL]

BS IEC 62047-42
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

Titel (englisch)

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

Ausgabe 2022-10-31
Originalsprache Englisch
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