Technische Regel
[AKTUELL]
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung
Titel (englisch)
Optical measurement and microtopographies - Calibration of interference microscopes and depth measurement standards for roughness measurement