DIN ISO 15632
Mikrobereichsanalyse - Ausgewählte instrumentelle Performanceparameter zur Spezifizierung und Überprüfung engergiedispersiver Röntgenspektrometer (EDS) für die Anwendung mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder einem Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA) (ISO 15632:2021)
Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021)
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt die wichtigsten Größen fest, die ein energiedispersives Röntgenspektrometer charakterisieren, das im Wesentlichen aus einem Halbleiterdetektor, einem Vorverstärker und einer Signalverarbeitungseinheit besteht. Dieses Dokument gilt ausschließlich für Spektrometer mit Halbleiterdetektor, die nach dem Prinzip der Festkörperionisierung funktionieren. Dieses Dokument legt die Mindestanforderungen fest und wie die relevanten Performanceparameter bei an einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA) angeschlossenen Spektrometer zu überprüfen sind. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA „Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse“ im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN ISO 15632:2015-11 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Titel ergänzt; b) Begriff 3.4 "Totzeit" detailliert; c) Begriff 3.14 "Nullpeak" aufgenommen; d) Abschnitt 4.1 "Allgemeine Beschreibung" um eine Anmerkung und den Literaturhinweis [5] ergänzt, die sich auf die aktive Nettosensoroberfläche beziehen.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-18 AA - Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse
