Einführungsbeitrag

Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA „Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme“ des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet. Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer semi-transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε<(index)1> und Imaginärteil ε<(index)2>) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Semi-transparente Einfachschicht fest.

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme