Norm
[AKTUELL]
ISO 23216
ISO 23216
Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektroskopischer Ellipsometrie
Titel (englisch)
Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme