Technische Regel
[AKTUELL]
ISO/TR 15969
ISO/TR 15969
Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilanalyse - Messung der gesputterten Tiefe
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurement of sputtered depth
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie