Norm
[AKTUELL]
ISO 16413
ISO 16413
Bestimmung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite von Dünnschichten durch Röntgenreflektometrie - Geräteanforderungen, Einstellung und Positionierung, Datensammlung, Datenanalyse und Berichterstattung
Titel (englisch)
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry - Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
