Technische Regel [AKTUELL]

VDI/VDE 2655 Blatt 1.3
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Titel (englisch)

Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement

Ausgabe 2020-02
Originalsprache Deutsch , Englisch
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