Norm [AKTUELL]

ISO 18516
Chemische Oberflächenanalyse - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 2 - Allgemeine Verfahren  

Ausgabe 2019-01
Originalsprache Englisch
Preis ab 215,10 €
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