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Norm [AKTUELL]

UNE-EN 62047-10
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (Endorsed by AENOR in December of 2011.)

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (Endorsed by AENOR in December of 2011.)

Ausgabe 2011-12-01

Originalsprache Englisch

Preis ab 61,00 €

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