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Norm [AKTUELL]

OVE EN 62047-26
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen (IEC 62047-26:2016) (deutsche Fassung)

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (IEC 62047-26:2016) (german version)

Ausgabe 2017-01-01

Originalsprache Deutsch

Preis ab 130,61 €

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