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Norm [AKTUELL]

SN EN 62047-17
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films

Ausgabe 2015-07

Originalsprache Deutsch

Preis ab 25,80 €

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