Norm
[AKTUELL]
SN EN 62047-15
SN EN 62047-15
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 15: Prüfverfahren zur Bondqualität zwischen PDMS und Glas
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass