Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-26
; NF EN 62047-26:2016-06-25
NF C96-050-26
; NF EN 62047-26:2016-06-25
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: description and measurement methods for micro trench and needle structures
