Norm
[AKTUELL]
BS EN 62047-26
BS EN 62047-26
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen
Titel (englisch)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Description and measurement methods for micro trench and needle structures