Einführungsbeitrag

In diesem Teil von ISO 21360 werden drei Verfahren zur Messung des Volumenstroms festgelegt sowie jeweils ein Verfahren zur Messung von Enddruck, Kompressionsverhältnis und kritischem Vorvakuumdruck einer Vakuumpumpe. Das erste Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Durchflussverfahren) basiert darauf, dass während des Einlasses eines stationären Gasstroms in die Pumpe der Ansaugdruck gemessen wird. In der Praxis kann sich die Messung des pV-Durchflusses als kompliziert oder ungenau erweisen. Aus diesem Grund werden zwei weitere Verfahren festgelegt, mit denen die direkte Messung des pV-Durchflusses umgangen wird. Das zweite Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Blendenverfahren) wird verwendet, wenn bei sehr kleinen Ansaugdrücken, ein sehr kleiner pV-Durchfluss besteht (im Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumbereich). Das Verfahren basiert auf der Bestimmung des Verhältnisses der Drücke in einem Doppelkammermessdom, in dem die beiden Kammern durch eine Wand mit einer Kreisblende getrennt sind. Das dritte Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Auspumpverfahren) ist gut für automatisierte Messungen geeignet. Grundlage ist die Evakuierung eines großen Behälters. Der Volumenstrom errechnet sich aus den beiden Drücken zu Beginn und zum Ende eines Auspumpintervalls und dem Volumen des Messdoms. Verschiedene Parameter, wie zum Beispiel Leck- und Desorptionsraten, Abkühlung des Gases durch eine nahezu isentrope Expansion während des Auspumpintervalls und der durch Molekularströmung bei niedrigen Drücken ansteigende Strömungswiderstand in der Verbindungsleitung zwischen Messdom und Pumpe, beeinflussen die Ergebnisse der Druckmessungen und den sich daraus ergebenden Volumenstrom. Die Auswahl der erforderlichen Messverfahren findet in Abhängigkeit des zu messenden Vakuumpumpentyps statt, so ist zum Beispiel die Messung des kritischen Vorvakuumdrucks nur bei Vakuumpumpen erforderlich, die eine Vorvakuumpumpe benötigen. Sämtliche an Vakuumpumpen gemessenen Daten, die nicht in diesem Teil von ISO 21360 festgelegt sind (zum Beispiel Messung des Energieverbrauchs), sind in der spezifischen Pumpennorm festgelegt. Diese Norm beinhaltet die Deutsche Fassung der vom Technischen Komitee ISO/TC 112 "Vacuum technology" ausgearbeiteten ISO 21360-1. Die nationalen Interessen bei der Erarbeitung werden vom Ausschuss NA 060-07-01 AA "Vakuumpumpen" im Fachbereich "Vakuumtechnik" des DIN-Normenausschusses Maschinenbau (NAM) wahrgenommen. Vertreter der Hersteller und Anwender der Vakuumtechnik sowie der Berufsgenossenschaften sind an der Erarbeitung beteiligt.

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 060-07-01 AA - Vakuumpumpen (SpA ISO/TC 112/WG 1)  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 112/WG 1 - Vakuumpumpen