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Norm [AKTUELL]

NF C96-050-17 ; NF EN 62047-17:2015-11-14
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: bulge test method for measuring mechanical properties of thin films

Ausgabe 2015-11-14

Originalsprache Französisch

Preis ab 118,70 €

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