Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-16
; NF EN 62047-16:2015-11-14
NF C96-050-16
; NF EN 62047-16:2015-11-14
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 16: Messverfahren zur Ermittlung der Eigenspannungen in Dünnschichten von MEMS-Bauteilen - Substratkrümmungs- und Biegebalken-Verfahren
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
