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Norm [AKTUELL]

SN EN 62047-21
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials

Ausgabe 2014-09
Originalsprache Deutsch
Preis ab 25,80 €
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