Norm
[AKTUELL]
ISO 13083
ISO 13083
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondenmikroskopie - Standards zur Definition und Kalibrierung der räumlichen Auflösung von Rasterausbreitungswiderstandsmikroskopie und Rasterkapazitätsmikroskopie
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
