Norm
[AKTUELL]
BS EN 62047-16
BS EN 62047-16
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Messverfahren zur Ermittlung der Eigenspannungen in Dünnschichten von MEMSBauteilen. Substratkrümmungs- und Biegebalken-Verfahren
Titel (englisch)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test methods for determining residual stresses of MEMS films Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
