Norm
[AKTUELL]
BS EN 62047-15
BS EN 62047-15
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Prüfverfahren zur Bondqualität zwischen PDMS und Glas
Titel (englisch)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method of bonding strength between PDMS and glass