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Norm [AKTUELL]

PD ISO/TR 16268
Chemische Oberflächenanalyse. Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials

Titel (englisch)

Surface chemical analysis. Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation

Ausgabe 2009-11-30

Originalsprache Englisch

Preis ab 267,20 €

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