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Norm [AKTUELL]

OEVE/OENORM EN 62047-21
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-21:2014) (deutsche Fassung)

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson`s ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014) (german version)

Ausgabe 2015-06-01

Originalsprache Deutsch

Preis ab 116,88 €

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