DIN 32567-5
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 5: Ableitung von Korrekturwerten für optische Messgeräte
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 027-03-03 AA "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) bei DIN erarbeitet. DIN 32567-5 gibt für die optische topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche optische Eigenschaften aufweisen, Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke ermittelt werden können. Diese Norm zielt in erster Linie auf die Materialpaarung weiche, nachgiebige Schicht auf hartem, steifem Substrat ab. Wichtigste Voraussetzung für die Anwendung des Norm-Entwurfs ist die Möglichkeit der topografischen Schichtdickenmessung, das heißt die Schicht muss als Profilstufe messbar sein.
