DIN 32567-4
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prüfkörper für optische Verfahren
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 027-03-03 AA "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) bei DIN erarbeitet. DIN 32567-4 gibt für die taktile topografische Messung der Schichtdicke von Schichtsystemen, bei denen Schicht und Substrat unterschiedliche mechanische Eigenschaften aufweisen, Verfahren an, mit denen die systematischen Abweichungen der gemessenen Schichtdicke ermittelt werden können. Dieses Dokument lässt sich auch auf scannend messende Koordinatenmessgeräte mit taktilem Sensor und Rasterkraftmikroskope im contact mode anwenden. Diese Norm zielt in erster Linie auf die Materialpaarung weiche, nachgiebige Schicht auf hartem, steifem Substrat ab. Wichtigste Voraussetzungen für die Anwendung des Norm-Entwurfs ist die Möglichkeit der topografischen Schichtdickenmessung, das heißt die Schicht muss als Profilstufe messbar sein.
