Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-21
; NF EN 62047-21:2014-12-26
NF C96-050-21
; NF EN 62047-21:2014-12-26
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschictwerkstoffen der Milkrosystemtechnik
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
