Norm [AKTUELL]

ISO 17560
Chemische Oberflächenanalyse - Sekundärionenmassenspektrometrie - Methode für die Tiefenprofilanalyse von Bor in Silizium

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of boron in silicon

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 6 - Massenspektroskopien  

Ausgabe 2014-09
Originalsprache Englisch
Preis ab 70,10 €
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