Norm
[AKTUELL]
SN EN 62047-18
SN EN 62047-18
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtwerkstoffe
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials