Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-11
; NF EN 62047-11:2014-03-12
NF C96-050-11
; NF EN 62047-11:2014-03-12
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für freistehende Werstoffe der Mikrosystemtechnik
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
