Norm
[AKTUELL]
NF E05-031-603
; NF EN ISO 25178-603:2013-12-06
NF E05-031-603
; NF EN ISO 25178-603:2013-12-06
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit : Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebenden interferometrischen Mikroskopie)
Titel (englisch)
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture : areal - Part 603: nominal characteristics of non-contact (phase shifting interferometric microscopy) instruments