Norm [AKTUELL]

BS EN 62047-11
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für freistehende Werkstoffe der Mikrosystemtechnik

Titel (englisch)

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

Ausgabe 2013-10-31
Originalsprache Englisch
Preis ab 267,20 €
Kaufen bei DIN Media
Inhaltsverzeichnis