Norm
[AKTUELL]
SN EN 62047-13
SN EN 62047-13
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit bei MEMS - Strukturen
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strenght for MEMS structures