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Norm [AKTUELL]

SN EN 62047-14
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials

Ausgabe 2012-04

Originalsprache Deutsch

Preis ab 25,80 €

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