Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-14
; NF EN 62047-14:2012-12-01
NF C96-050-14
; NF EN 62047-14:2012-12-01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: forming limit measuring method of metallic film materials
