Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-13
; NF EN 62047-13:2012-12-01
NF C96-050-13
; NF EN 62047-13:2012-12-01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit bei MEMS-Strukturen
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strenght for MEMS structures