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Norm [AKTUELL]

NF C96-050-10 ; NF EN 62047-10:2012-12-01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: micro-pillar compression test for MEMS materials

Ausgabe 2012-12-01
Originalsprache Französisch
Preis ab 90,10 €
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