Norm
[AKTUELL]
SN EN 62047-12
SN EN 62047-12
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
