Norm
[AKTUELL]
OEVE/OENORM EN 62047-13
OEVE/OENORM EN 62047-13
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit bei MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012) (deutsche Fassung)
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012) (german version)