Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-12
; NF EN 62047-12:2012-07-01
NF C96-050-12
; NF EN 62047-12:2012-07-01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
