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Norm [AKTUELL]

SN EN 62047-10
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials

Ausgabe 2011-09
Originalsprache Deutsch
Preis ab 25,80 €
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