Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-5
; NF EN 62047-5:2012-05-01
NF C96-050-5
; NF EN 62047-5:2012-05-01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches