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Norm [AKTUELL]

SN EN 62047-8
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films

Ausgabe 2011-05

Originalsprache Deutsch

Preis ab 25,80 €

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