DIN EN 62047-5
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter (IEC 62047-5:2011); Deutsche Fassung EN 62047-5:2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches (IEC 62047-5:2011); German version EN 62047-5:2011
Einführungsbeitrag
Der Einsatz von HF-MEMS-Schaltern ist vielversprechend in modernen Mobiltelefonen mit Multi-Band/Mode-Betriebsarten, Radar-Kleinstsystemen, konfigurierbaren HF-Geräten und Systemen, SDR-Telefonen, Messgeräten, abstimmbaren Geräten und Systemen, Satelliten und so weiter. Diese Bauelemente werden vermehrt in besonders kleinen Baugrößen auch als mikrosystemtechnische Bauelemente gefertigt, um den Anforderungen an die zur Verfügung stehenden Abmessungen gerecht zu werden. Dabei müssen diese Bauelemente die geforderten Performance-Bedingungen sicherstellen. In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Begriffe, Definitionen, Symbole und Prüfverfahren festgelegt, die verwendet werden können, um die wesentlichen Kenngrößen und charakteristischen Eigenschaften von mikro-elektromechanischen Schaltern für Hochfrequenzanwendungen (HF-MEMS-Schalter) zu bewerten und zu bestimmen. Anwendbar sind die Festlegungen dieser Norm auch bei HF-MEMS-Schaltern mit unterschiedlichen konstruktiven Bauformen, Schaltkontakten (galvanisch oder kapazitiv), Schalterkonfigurationen (seriell oder Shunt), Schaltnetzwerk-Funktionen (SPST, SPDT, DPDT und so weiter) und Aktormechanismen wie elektrostatischen, elektrothermischen, elektromagnetischen, piezoelektrischen und so weiter. Zuständig ist das K 631 "Halbleiterbauelemente" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.
