DIN EN 62047-7
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 7: BAW-MEMS-Filter und -Duplexer zur Hochfrequenz-Regelung und -Auswahl (IEC 62047-7:2011); Deutsche Fassung EN 62047-7:2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 7: MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection (IEC 62047-7:2011); German version EN 62047-7:2011
Einführungsbeitrag
BAW-Resonatoren, -Filter und -Duplexer (BAW, en: bulk acoustic waves) werden als Bauelemente zur Stabilisierung und Selektion von Hochfrequenz(HF)-Signalen verwendet. Diese Bauelemente werden vermehrt in besonders kleinen Baugrößen auch als mikrosystemtechnische Bauelemente gefertigt, um den Anforderungen an die zur Verfügung stehenden Abmessungen gerecht zu werden. Dabei müssen diese Bauelemente die geforderten Performance-Bedingungen sicherstellen. Die Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik, Mikromaschinen und so weiter haben besondere Eigenschaften, wie zum Beispiel die üblichen Abmessungen von einigen wenigen Mikrometern, die Werkstoffherstellung durch Dampfabscheidung und die Herstellung von Mikroproben mittels nicht-mechanischer Verarbeitungsverfahren, einschließlich der Fotolithografie. Dünnschicht-Werkstoffe sind die hauptsächlichen Basiswerkstoffe für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MEMS), Mikrobauteile und ähnliche Bauteile. Dieser Teil der Reihe DIN EN 62047 legt Begriffe, Definitionen, Symbole, Konfigurationen sowie Prüf- und Messverfahren fest, die für Bewertungen und Ermittlungen der Leistungs- und Funktionskenngrößen von BAW-Resonatoren, -Filtern und -Duplexern als Bauelemente zur Stabilisierung und Selektion von Hochfrequenz(HF)-Signalen verwendet werden können. Dieses Dokument legt die Prüf- und Messverfahren und allgemeine Anforderungen für BAW-Resonatoren, -Filter und -Duplexer mit bestätigter Qualität fest, um für Fähigkeits- oder Qualifikations-Anerkennungsverfahren verwendet zu werden. Zuständig ist das K 631 "Halbleiterbauelemente" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.
