Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-4
; NF EN 62047-4:2011-09-01
NF C96-050-4
; NF EN 62047-4:2011-09-01
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: generic specifications for MEMS