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Norm [AKTUELL]

SN EN 62047-4
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS

Ausgabe 2010-10

Originalsprache Deutsch

Preis ab 25,80 €

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SN EN 62047-4 Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik

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