Norm
[AKTUELL]
BS EN 62374-1
BS EN 62374-1
Halbleiterbauelemente. Prüfung auf zeitabhängigen dielektrischen Durchbruch (TDDB) bei Isolationsschichten zwischen metallischen Leiterbahnen
Titel (englisch)
Semiconductor devices. Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers